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반도체, LCD, LED, OLED, SOLAR 공정에서 사용되는 가연성 및 기타 Gas를 Heater를 이용하여 Gas를 처리하는 방식으로
Gas를 자연발화점 이상의 온도로 충분히 가열하여 처리한다. |
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High Reliablity
Anti-Corrosion material burning chamber
High gas abatement efficiency
Pumping drain&PLC operated
User parameter operated
Easy maintenance design
Long life time dual heater
Long PM interval
Leak Plate&Leak sensor
Dual level sensor
4 inlet multi pressure monitoring
Exhaust temp monitoring |
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ITEM
Dimension
Electric Power
Inlet port
CDA
N2
CW
Exhaust
Cabinet Exhaust
Drain
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Specification
800(W) x 810(D) x 1750(H)
1 Phase, 208V
NW40 Flange, 4port
3/8"LOK, 5~6kgf/cm2
3/8"LOK, 3~6kgf/cm2
3/8"LOK, 2~3kgf/cm2
MF100Flange, -30 ~ -80mmH2O
MF100Flange, -30 ~ -80mmH2O
15A(PVC)
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