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Type
All
Burn Wet
Plasma Wet
Heat-Catalyst Wet
Wet
Dry
Integrated Vacuum and Abatement System
Burn-Air
Total Capacity
250 slm
600 slm
1,000 slm
1,000 slm * 2 EA
6,000 slm
6,000 CMH
2,000 slm
Target Gas
PFCs (> 99%)
RCA Cleaning gas (> 95%)
Cl₂ (> 99%)
H₂<5% (>99%)
Corrosive
Flammable gases
Water soluble gas
HFCs
BCl₃
etc.
Target Process
DIFF
CVD
Etch
Metal
Metal etch
some processes of Metal etch
Wet cleaning
Implant
etc.