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  • 独自の保守革新、モジュール化設計と超高効率バーナーの完璧な組み合わせ
    Burn Wet
    GAIA-I SINGLE
    Total Capacity
    1,000 slm
    Target Gas
    PFCs (> 99%), HFCs, etc.
    Target Process
    DIFF, CVD, Etch, Metal, etc.
    Dimension
    1000X780X1874
  • カーボンニュートラルの新基準、次世代電気プラズマガス浄化技術
    Plasma Wet
    GAIA-P SINGLE
    Total Capacity
    1,000 slm
    Target Gas
    PFCs (> 99%), HFCs, etc.
    Target Process
    DIFF, CVD, Etch, Metal, etc.
    Dimension
    950X1000X1842
  • 次世代低炭素浄化技術革新プラットフォーム
    Heat-Catalyst Wet
    MiTHAs I
    Total Capacity
    1,000 slm
    Target Gas
    PFCs (> 99%), HFCs, etc.
    Target Process
    Etch
    Dimension
    900X1100X1950
  • ポンプ一体型による設置費用削減の革新
    Integrated Vacuum and Abatement System
    iVAS
    Total Capacity
    1,000 slm * 2 EA
    Target Gas
    PFCs (> 99%), HFCs, etc.
    Target Process
    DIFF, CVD, Etch, Metal, etc.
    Dimension
    3720X1268X1811
  • 究極の超大容量処理、6000CMHの次元の異なる浄化ソリューション
    Wet
    GAIA GARAM
    Total Capacity
    6,000 CMH
    Target Gas
    RCA Cleaning gas (> 95%)
    Target Process
    Wet cleaning
    Dimension
    2400X1500X2350
  • 吸収・触媒技術による低炭素エコプラットフォーム
    Wet
    SOOPIA-C
    Total Capacity
    1,000 slm
    Target Gas
    H₂<5% (>99%)
    Target Process
    some processes of Metal etch
    Dimension
    1600X1100X1870
  • シンプル・効率・安全を同時に実現する革新プラットフォーム
    Dry
    SDS-500
    Total Capacity
    250 slm
    Target Gas
    Cl₂ (> 99%), BCl₃
    Target Process
    Metal etch, Implant, etc.
    Dimension
    650X590X1750
  • ウォータージェット技術で実現した持続可能なガス処理プラットフォーム
    Wet
    SWS-I
    Total Capacity
    1,000 slm
    Target Gas
    Water soluble gas
    Target Process
    Wet cleaning
    Dimension
    900X750X1795
  • カーボンニュートラルの新基準、次世代電気プラズマガス浄化技術
    Plasma Wet
    GAIA-P DUAL
    Total Capacity
    1,000 slm * 2 EA
    Target Gas
    PFCs (> 99%), HFCs, etc.
    Target Process
    DIFF, CVD, Etch, Metal, etc.
    Dimension
    1900X1000X1842
  • 設置効率とエネルギー削減を同時に実現する技術革新
    Burn Wet
    GAIA-EV6
    Total Capacity
    600 slm
    Target Gas
    PFCs (> 99%), HFCs, etc.
    Target Process
    Etch
    Dimension
    1200X730X1870
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