
お問い合わせ
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独自の保守革新、モジュール化設計と超高効率バーナーの完璧な組み合わせBurn WetGAIA-I SINGLE
- Total Capacity
- 1,000 slm
- Target Gas
- PFCs (> 99%), HFCs, etc.
- Target Process
- DIFF, CVD, Etch, Metal, etc.
- Dimension
- 1000X780X1874
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カーボンニュートラルの新基準、次世代電気プラズマガス浄化技術Plasma WetGAIA-P SINGLE
- Total Capacity
- 1,000 slm
- Target Gas
- PFCs (> 99%), HFCs, etc.
- Target Process
- DIFF, CVD, Etch, Metal, etc.
- Dimension
- 950X1000X1842
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次世代低炭素浄化技術革新プラットフォームHeat-Catalyst WetMiTHAs I
- Total Capacity
- 1,000 slm
- Target Gas
- PFCs (> 99%), HFCs, etc.
- Target Process
- Etch
- Dimension
- 900X1100X1950
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ポンプ一体型による設置費用削減の革新Integrated Vacuum and Abatement SystemiVAS
- Total Capacity
- 1,000 slm * 2 EA
- Target Gas
- PFCs (> 99%), HFCs, etc.
- Target Process
- DIFF, CVD, Etch, Metal, etc.
- Dimension
- 3720X1268X1811
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究極の超大容量処理、6000CMHの次元の異なる浄化ソリューションWetGAIA GARAM
- Total Capacity
- 6,000 CMH
- Target Gas
- RCA Cleaning gas (> 95%)
- Target Process
- Wet cleaning
- Dimension
- 2400X1500X2350
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吸収・触媒技術による低炭素エコプラットフォームWetSOOPIA-C
- Total Capacity
- 1,000 slm
- Target Gas
- H₂<5% (>99%)
- Target Process
- some processes of Metal etch
- Dimension
- 1600X1100X1870
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シンプル・効率・安全を同時に実現する革新プラットフォームDrySDS-500
- Total Capacity
- 250 slm
- Target Gas
- Cl₂ (> 99%), BCl₃
- Target Process
- Metal etch, Implant, etc.
- Dimension
- 650X590X1750
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ウォータージェット技術で実現した持続可能なガス処理プラットフォームWetSWS-I
- Total Capacity
- 1,000 slm
- Target Gas
- Water soluble gas
- Target Process
- Wet cleaning
- Dimension
- 900X750X1795
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カーボンニュートラルの新基準、次世代電気プラズマガス浄化技術Plasma WetGAIA-P DUAL
- Total Capacity
- 1,000 slm * 2 EA
- Target Gas
- PFCs (> 99%), HFCs, etc.
- Target Process
- DIFF, CVD, Etch, Metal, etc.
- Dimension
- 1900X1000X1842
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設置効率とエネルギー削減を同時に実現する技術革新Burn WetGAIA-EV6
- Total Capacity
- 600 slm
- Target Gas
- PFCs (> 99%), HFCs, etc.
- Target Process
- Etch
- Dimension
- 1200X730X1870
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