お問い合わせ
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独自の保守革新、モジュール化設計と超高効率バーナーの完璧な組み合わせBurn WetGAIA-I SINGLE- Total Capacity
- 1,000 slm
- Target Gas
- PFCs (> 99%), HFCs, etc.
- Target Process
- DIFF, CVD, Etch, Metal, etc.
- Dimension
- 1000X780X1874
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独自の保守革新、モジュール化設計と超高効率バーナーの完璧な組み合わせBurn WetGAIA-I DUAL- Total Capacity
- 1,000 slm * 2 EA
- Target Gas
- PFCs (> 99%), HFCs, etc.
- Target Process
- DIFF, CVD, Etch, Metal, etc.
- Dimension
- 1840X780X1874
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