お問い合わせ
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カーボンニュートラルの新基準、次世代電気プラズマガス浄化技術Plasma WetGAIA-P SINGLE- Total Capacity
- 1,000 slm
- Target Gas
- PFCs (> 99%), HFCs, etc.
- Target Process
- DIFF, CVD, Etch, Metal, etc.
- Dimension
- 950X1000X1842
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カーボンニュートラルの新基準、次世代電気プラズマガス浄化技術Plasma WetGAIA-P DUAL- Total Capacity
- 1,000 slm * 2 EA
- Target Gas
- PFCs (> 99%), HFCs, etc.
- Target Process
- DIFF, CVD, Etch, Metal, etc.
- Dimension
- 1900X1000X1842
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