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독보적인 유지보수 혁신, 모듈화 설계와 초고효율 버너의 완벽한 조합Burn WetGAIA-I SINGLE- Total Capacity
- 1,000 slm
- Target Gas
- PFCs (> 99%), HFCs, etc.
- Target Process
- DIFF, CVD, ETCH, METAL, etc.
- Dimension
- 1000X780X1874
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탄소중립의 새로운 기준, 차세대 전기 플라즈마 가스정화 기술Plasma WetGAIA-P SINGLE- Total Capacity
- 1,000 slm
- Target Gas
- PFCs (> 99%), HFCs, etc.
- Target Process
- DIFF, CVD, ETCH, METAL, etc.
- Dimension
- 950X1000X1842
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차세대 저탄소 정화 기술 혁신 플랫폼Heat-Catalyst WetMiTHAs I- Total Capacity
- 1,000 slm
- Target Gas
- PFCs (> 99%), HFCs, etc.
- Target Process
- ETCH
- Dimension
- 900X1100X1950
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펌프 일체형의 설치비 절감 혁신Integrated Vacuum and Abatement SystemiVAS- Total Capacity
- 1,000 slm * 2 EA
- Target Gas
- PFCs (> 99%), HFCs, etc.
- Target Process
- DIFF, CVD, ETCH, METAL, etc.
- Dimension
- 3720X1268X1811
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궁극의 초대용량 처리, 6000 CMH의 차원이 다른 정화 솔루션WetGAIA GARAM- Total Capacity
- 6,000 CMH
- Target Gas
- RCA Cleaning gas (> 95%)
- Target Process
- Wet Cleaning
- Dimension
- 2400X1500X2350
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흡수·촉매 기술을 통한 저탄소 친환경 플랫폼WetSOOPIA-C- Total Capacity
- 1,000 slm
- Target Gas
- H2<5% (>99%)
- Target Process
- some processes of METAL ETCH
- Dimension
- 1600X1100X1870
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단순·효율·안전을 동시에 구현한 플랫폼DrySDS-500- Total Capacity
- 250 slm
- Target Gas
- Cl2 (> 99%), BCl3
- Target Process
- METAL ETCH, IMPLANT, etc.
- Dimension
- 650X590X1750
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물 분사 기술로 완성한 지속가능한 가스 처리 플랫폼WetSWS-I- Total Capacity
- 1,000 slm
- Target Gas
- Water soluble gas
- Target Process
- Wet Cleaning
- Dimension
- 900X750X1795
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탄소중립의 새로운 기준, 차세대 전기 플라즈마 가스정화 기술Plasma WetGAIA-P DUAL- Total Capacity
- 1,000 slm * 2 EA
- Target Gas
- PFCs (> 99%), HFCs, etc.
- Target Process
- DIFF, CVD, ETCH, METAL, etc.
- Dimension
- 1900X1000X1842
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설치 효율과 에너지 절감을 동시에 구현하는 기술 혁신Burn WetGAIA-EV6- Total Capacity
- 600 slm
- Target Gas
- PFCs (> 99%), HFCs, etc.
- Target Process
- ETCH
- Dimension
- 1200X730X1870
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