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독보적인 유지보수 혁신, 모듈화 설계와 초고효율 버너의 완벽한 조합Burn WetGAIA-I SINGLE- Total Capacity
- 1,000 slm
- Target Gas
- PFCs (> 99%), HFCs, etc.
- Target Process
- DIFF, CVD, ETCH, METAL, etc.
- Dimension
- 1000X780X1874
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독보적인 유지보수 혁신, 모듈화 설계와 초고효율 버너의 완벽한 조합Burn WetGAIA-I DUAL- Total Capacity
- 1,000 slm * 2 EA
- Target Gas
- PFCs (> 99%), HFCs, etc.
- Target Process
- DIFF, CVD, ETCH, METAL, etc.
- Dimension
- 1840X780X1874
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